十二手套口手套箱连接单工位手套箱带加热过渡舱实验/加工系统
十二手套口手套箱连接单工位手套箱带加热过渡舱实验/加工系统
双面十二手套口手套箱,可以把设备集成在一个无物理内部隔断的单一大型腔体内,大型设备(如机械臂轨道)和样品可以自由移动;操作员可以从两侧同时访问箱内大部分区域,进行复杂部件的传递和协作装配;加热过渡舱是维持系统长期稳定运行在亚ppm级超高纯净度的关键技术,对所有即将进入主箱体的物料(基板、晶圆、工具、包装)进行原位高温烘烤,抽走其表面和孔隙中吸附的水汽、有机物,从源头杜绝污染源。单工位手套箱中,单一循环净化系统能保证水、氧浓度高度一致,适合对湿度/氧气高度敏感的样品进行制备、涂覆、干燥等操作。该系统可实现一条原本需要在多个独立超净间或手套箱之间转移的复杂工艺链条。它是解决 “不可暴露空气的复杂组装与制造” 这一顶级难题的终极工程解决方案,常用于对可靠性、纯净度和集成度有极限要求的尖端科研领域。
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