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2025-01-01

利用原子层沉积技术实现有机电致发光器件的薄膜封装

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2025-01-01

利用原子层沉积技术实现有机电致发光器件的薄膜封装

长春电子科技学院姜文龙教授团队与吉林大学段羽教授团队合作在《发光学报》发表了题为“利用原子层沉积技术实现有机电致发光器件的薄膜封装”的综述文章。重点探究了前驱体原料、掺杂比率、沉积温度、ALD脉冲时间和吹扫时间对薄膜沉积性能的影响以及薄膜厚度和封装性能之间的关系；分析了ALD制备薄膜的水汽透过率；比较了ALD在单层、有机-无机叠层薄膜封装（Thin-fi

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