外形尺寸：2000mm×750mm×1900mm
工作尺寸：1200mm×750mm×900mm
水含量：<0.01ppm
氧含量：<0.01ppm
箱体泄漏率  ≤0.0005vol%/h

外形尺寸：1950mm×750mm×1900mm
工作尺寸：1200mm×750mm×900mm
水含量：＜0.1ppm，可以达到0.01ppm
氧含量：＜0.1ppm，可以达到0.01ppm
箱体泄漏率：≤0.001vol%/h，可以达到0.0008vol%/h

外形尺寸：2000mm×750mm×1900mm
工作尺寸：1500mm×750mm×900mm
水含量：<0.01ppm
氧含量：<0.01ppm
箱体泄漏率  ≤0.0005vol%/h

外形尺寸：2250mm×750mm×1900mm
工作尺寸：1500mm×750mm×900mm
水含量：＜0.1ppm，可以达到0.01ppm
氧含量：＜0.1ppm，可以达到0.01ppm
箱体泄漏率：≤0.001vol%/h，可以达到0.0008vol%/h

外形尺寸：2000mm×750mm×1900mm
工作尺寸：1500mm×750mm×900mm
水含量：<0.01ppm
氧含量：<0.01ppm
箱体泄漏率  ≤0.0005vol%/h

外形尺寸：2250mm×1000mm×1900mm
工作尺寸：1500mm×1000mm×900mm
水含量：＜0.1ppm，可以达到0.01ppm
氧含量：＜0.1ppm，可以达到0.01ppm
箱体泄漏率：≤0.001vol%/h，可以达到0.0008vol%/h

外形尺寸：2600mm×1000mm×1900mm
工作尺寸：1800mm×1000mm×900mm
水含量：<0.01ppm
氧含量：<0.01ppm
箱体泄漏率  ≤0.0005vol%/h

外形尺寸：2550mm×1000mm×1900mm
工作尺寸：1800mm×1000mm×900mm
水含量：＜0.1ppm，可以达到0.01ppm
氧含量：＜0.1ppm，可以达到0.01ppm
箱体泄漏率：≤0.001vol%/h，可以达到0.0008vol%/h

外形尺寸：6800mm×1000mm×1900mm
工作尺寸：6000mm×1000mm×900mm
水含量：<0.01ppm
氧含量：<0.01ppm
箱体泄漏率  ≤0.0005vol%/h

外形尺寸：6750mm×1000mm×1900mm
工作尺寸：6000mm×1000mm×900mm
水含量：＜0.1ppm，可以达到0.01ppm
氧含量：＜0.1ppm，可以达到0.01ppm
箱体泄漏率：≤0.001vol%/h，可以达到0.0008vol%/h

集成高真空镀膜与超低水氧环境控制，其左侧单工位、右侧五手套口大箱体设计，尤其适合需要“镀膜准备+镀膜+镀后处理+协同操作”的复杂工艺流程。可集成了电子束蒸发、热蒸发或磁控溅射镀膜机，可制备金属、氧化物等多种薄膜；T型过渡舱在不破坏主箱体气氛的前提下，实现样品的洁净传递；外置循环水冷机为箱内集成的镀膜机等热源设备提供强制散热，确保长时间工艺的温度稳定性。