新材料研发制备
超越传统手套箱仅控制气氛(水氧)的范畴,集成高精度恒温恒湿机组,能对箱内大空间进行精准的温湿度调控,通过特殊的风道设计,确保2.4米宽的巨大操作空间内,温度场和气氛浓度场高度均匀,避免因位置不同导致工艺结果差异。可集成多源蒸镀机、旋涂机、退火热台、光电测试探针台、精密点胶机、键合机等设备,进行从基板清洗→薄膜沉积→器件封装→初步测试的完整流水线式操作,将多个分散的工艺步骤整合在一个受控的“超净间中的超净间”内完成,成为光电前沿实验室或中试线的“光电工艺核心平台”,是推动光电技术从实验室走向产业化过程中的关键装备。
专利模块 伊特克斯专利双O型密封圈法兰视窗特点及优势
(专利号码CN104260114B):
视窗法兰采用整体厚不锈钢板激光切割成整体强度高,耐冲击挤压变形的矩形环状。整体法兰视窗及环状密封槽,采用大型龙门加工中心一次加工成型,开双燕尾密封
槽,密封支撑面及密封槽底面平面度<0.05毫米/米。
法兰视窗与箱体采用冷却连续焊接方式,严格整体无损探伤检测焊缝,焊接处无泄漏。
采用整体双环状“O”型密封圈嵌入整体环状槽的双槽真空隔离密封方式,里边密封圈无接缝,外边密封圈无接缝,双层密封间的真空有效地阻挡了空气中的H2O、O2、N2分子扩散入手套箱和有毒分子扩散出手套箱,达到无泄的效果,箱体泄漏率<0.0005vol%/h,达到无泄漏的效果。
| 箱体 | ||
| 描述 | 尺寸:2400mm×900mm×750mm | |
| 材质:全不锈钢结构(Type 304), 厚度 3mm | ||
| 体积 | 1.6m³ | |
| 前窗 | 倾斜设计的操作面,可拆卸的 8mm 安全钢化玻璃前窗,耐磨、抗腐蚀、透光性好。 前窗口与箱体之间采用独特的双重闭环密封圈密封 | |
| 手套口 | 8英寸 | |
| 硬铝合金手套口(经过防腐蚀处理,阳极氧化铝),口径 220mm | ||
| 手套 | 材料:丁基橡胶手套 | |
| 厚度 0.4mm,手套口8英寸 | ||
| 过滤器 | 采用符合HEPA标准的0.3 μm孔径滤网的高效率过滤器 | |
| 照明 | 箱体配置有防反射的照明节能灯,光线柔和 | |
| 泄漏率 | ≤0.001vol%/h(国标泄露率≤0.05vol%/h) | |
| 过渡舱 | ||
| 大过渡舱 | 材料 | 圆柱形(304不锈钢)与手套箱连接,采用轴锁式大过渡舱门,易于操作 |
| 尺寸 | 直径 360mm,长600m大过渡舱,过渡舱内有可滑动托盘,抛光。抽气和补可手动和自动操作 | |
| 真空度 | 真空度<1bar(大、小右过度舱均要求抽真空带显示) | |
| 小过渡舱 | 材料 | 不锈钢 type 304 (1.4301),厚度 2 mm |
| 尺寸 | 直径150mm,长300mm,手动阀门控制抽气和补气 | |
| 真空度 | ≤1bar(大、小右过度舱均要求抽真空带显示)真空表选择德国 WIKA | |
| 清洗系统 | ||
| 描述 | 自动箱体清洗功能。不同性质的气体环境更换及误操作进水、氧,致使水氧含量大幅升高,快速箱体自动清洗,一键完成,直至水氧值达到正常许可范围内 | |
| 分析仪 | ||
| 氧气分析仪 | 型号 | (国外进口)品牌:美国AVCRAY(依照客户使用环境决定)非国产或国内组装,第三方数据保证可信性 |
| 尺寸 | 205 mm(L) x 80 mm(W) x 60 mm(H) | |
| 测量范围 | 0-1000Ppm | |
| 其他氧分析仪 | GE oxy.IQ™ Oxygen Transmitter | |
| 水分分析仪 | 型号 | (国外进口)品牌:英国MICHELL/(依照客户使用环境决定)非国产或国内组装,第三方数据保证可信性 |
| 尺寸 | 205 mm(L) x 80 mm(W) x 60 mm(H) | |
| 测量范围 | 0-1000ppm | |
| 其他水分析仪 | GE VeriDri™ Dew-Point Transmitter | |
| 溶剂净化系统 | ||
| 描述 | 为防止有机溶剂和酸性气体对净化柱的影响,串联一个吸附柱到手套箱循环系统中,媒介为优质高效活性碳。 填装量为5KG,在柱子的上下方有KF40接口和蝶阀,无需拆卸,方便快捷自动更换吸附材料 | |
| 选配设备 | ||
| 空调 | 每个箱体上设置一个空调,共两个 | |
| 温度控制范围 18±2℃;出风口倾斜,风向朝向前窗,不直吹操作工位 | ||
| 设备工作条件:(用户提供) | ||
| 其他说明 | ||
| 产品认证 | ISO9001认证、CE认证、UL认证 | |
| 质保期 | 一年质保期,终身维修 | |
| 应用注意事项 | 详情参阅说明书危险、警告、注意等条款 | |
| 包装尺寸(W×D×H) | 2500mm×1050mm×2100mm | |
| 重量 | 500KG | |