十二手套口手套箱连接单工位手套箱带加热过渡舱实验/加工系统

科学实验、半导体

  • 十二手套口手套箱连接单工位手套箱带加热过渡舱实验/加工系统

    双面十二手套口手套箱,可以把设备集成在一个无物理内部隔断的单一大型腔体内,大型设备(如机械臂轨道)和样品可以自由移动;操作员可以从两侧同时访问箱内大部分区域,进行复杂部件的传递和协作装配;加热过渡舱是维持系统长期稳定运行在亚ppm级超高纯净度的关键技术,对所有即将进入主箱体的物料(基板、晶圆、工具、包装)进行原位高温烘烤,抽走其表面和孔隙中吸附的水汽、有机物,从源头杜绝污染源。单工位手套箱中,单一循环净化系统能保证水、氧浓度高度一致,适合对湿度/氧气高度敏感的样品进行制备、涂覆、干燥等操作。该系统可实现一条原本需要在多个独立超净间或手套箱之间转移的复杂工艺链条。它是解决 “不可暴露空气的复杂组装与制造” 这一顶级难题的终极工程解决方案,常用于对可靠性、纯净度和集成度有极限要求的尖端科研领域。

  • 应用领域

创新功能

专有技术

    专利模块   伊特克斯专利双O型密封圈法兰视窗特点及优势

    (专利号码CN104260114B):

            视窗法兰采用整体厚不锈钢板激光切割成整体强度高,耐冲击挤压变形的矩形环状。整体法兰视窗及环状密封槽,采用大型龙门加工中心一次加工成型,开双燕尾密封

    槽,密封支撑面及密封槽底面平面度<0.05毫米/米。

            法兰视窗与箱体采用冷却连续焊接方式,严格整体无损探伤检测焊缝,焊接处无泄漏。

            采用整体双环状“O”型密封圈嵌入整体环状槽的双槽真空隔离密封方式,里边密封圈无接缝,外边密封圈无接缝,双层密封间的真空有效地阻挡了空气中的H2O、O2、N2分子扩散入手套箱和有毒分子扩散出手套箱,达到无泄的效果,箱体泄漏率<0.0005vol%/h,达到无泄漏的效果。


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可选配置

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详细参数

非标十二手套口清洗手套箱
箱体
描述双面双工位尺寸:(1500mX1000mmX1500mm)
全不锈钢结构 (Type304),厚度3mm
体积2.2m³
前窗

倾斜设计的操作面,可拆卸的8mm安全钢化玻璃前窗,耐磨、抗腐蚀、透光性好、

密封圈采用3/8英寸厚的OMEGA密封圈

手套口8英寸
硬铝合金手套口(经过防腐蚀处理,阳极氧化铝,耐电解液及有机溶剂腐蚀),口径220mm
手套材料:丁基橡胶美国原装进口
厚度 0.4mm
过滤器孔径 0.3μm
照明箱体配置有防反射的照明节能灯,光线柔和
泄漏率≤0.009vol%/h
其他箱体内设有陈列板2层搁物架(可选)
箱体内设有6孔电源接线板(电源:220V±10%  50Hz±10%)
箱体可设置多个标准 KF-40接口
钢结构支架,含脚轮高950 mm,  安装有万向脚轮
标准双面双工位手套箱
箱体
描述双面双工位尺寸:(1200mmX1000mmX900mm)
全不锈钢结构 (Type304),厚度3mm
体积1.0m³
前窗

倾斜设计的操作面,可拆卸的8mm安全钢化玻璃前窗,耐磨、抗腐蚀、透光性好、

密封圈采用3/8英寸厚的OMEGA密封圈

手套口8英寸
硬铝合金手套口(经过防腐蚀处理,阳极氧化铝,耐电解液及有机溶剂腐蚀),口径220mm
手套材料:丁基橡胶美国原装进口
厚度 0.4mm
过滤器孔径 0.3μm
照明箱体配置有防反射的照明节能灯,光线柔和
泄漏率≤0.009vol%/h
其他箱体内设有陈列板2层搁物架(可选)
箱体内设有6孔电源接线板(电源:220V±10%  50Hz±10%)
箱体可设置多个标准 KF-40接口
钢结构支架,含脚轮高950 mm,  安装有万向脚轮
过渡舱
大过渡舱材料圆柱形(304不锈钢),与手套箱连接,采用轴锁式大过渡舱门,易于操作
尺寸直径360mm,长600mm大过渡舱,活塞门,过渡舱内有可滑动托盘,抛光
真空度真空度<1bar(大、小右过度舱均要求抽真空带显示)
小过渡舱材料不锈钢 type 304 (1.4301),厚度 2 mm
尺寸直径150mm,  长300mm,手动阀门控制抽气和补气
真空度真空度≤1bar (大、小右过渡舱均要求抽真空带显示)
清洗系统
描述自动箱体清洗功能。不同性质的气体环境更换及误操作进水、氧后快速箱体自动清洗。 箱体自动清洗阀门至箱体管道集成处采用KF25含钢丝塑料管牢固连接,外部接口KF25宝塔接头。
自动气控电镀板;箱内气体自动清洗功能用户设定清洗时间,再触摸屏上点触启动按键,系统将开始清洗箱体,到设定的时间是自动停止。增加真空泵启停时间控制
分析仪
氧气分析仪型号(国外进口)品牌:美国Avcray(电化学)非国产或国内组装,第三方数据保证可信性
尺寸205 mm(L) x 80 mm(W) x 60 mm(H)
测量范围0-1000Ppm
其他氧分析仪GE oxy.IQ™ Oxygen Transmitter
水分分析仪型号(国外进口)品牌:英国MICHELL/(依照客户使用环境决定)非国产或国内组装,第三方数据保证可信性
尺寸205 mm(L) x 80 mm(W) x 60 mm(H)
测量范围0-1000ppm
其他水分析仪GE VeriDri™ Dew-Point Transmitter
其他说明此分析仪部分为标准手套箱配备,为保证手套箱方便后期拓展,非标十二手套口清洗手套箱已预留水氧分析仪接口、循环净化系统接口等,保证后续拓展的便利性。
溶剂净化系统
描述为防止有机溶剂对净化柱的影响,串联一个溶剂柱到手套箱系统中,可有效去除系统挥发出来的溶剂,媒介主要为优质高效活性炭。有机溶剂吸附系统填装料为经过水洗烘干的高效活性炭和活性氧化铝,填装量为7KG,安装于箱子底部,在柱子的上下方有KF40接口,方便换料,用户可自行换料
其他说明此溶剂净化系统部分为标准手套箱配备,为保证手套箱方便后期拓展,非标十二手套口清洗手套箱已预留水氧分析仪接口、循环净化系统接口等,保证后续拓展的便利性
其他说明
产品认证ISO9001认证、CE认证、UL认证
质保期一年质保期,终身维修
应用注意事项详情参阅说明书危险、警告、注意等条款


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