集成真空蒸镀与干燥系统四工位手套箱

  • 集成真空蒸镀与干燥系统四工位手套箱

    可集成高真空腔室(用于蒸镀和干燥),和高纯惰性气体腔室(手套箱主体)通过真空插板阀或传递模块连接,允许样品在两种极端环境(超高真空 vs. 超高纯度惰气)之间安全、无损地传递。四工位支持多任务并行和复杂工艺流程串行,效率极高。左右两侧均设有过渡舱,优化了操作动线,便于不同洁净级别区域的物料进出(如一侧进原料,一侧出成品)。在整个制造过程中完全避免了与大气(尤其是氧气和水汽)的接触,通过中央集成控制系统,可以对真空度、沉积速率、膜厚、箱体水氧含量、各舱室压力等进行精确编程和全自动控制。

  • 应用领域

创新功能

专有技术

    专利模块   伊特克斯专利双O型密封圈法兰视窗特点及优势

    (专利号码CN104260114B):

            视窗法兰采用整体厚不锈钢板激光切割成整体强度高,耐冲击挤压变形的矩形环状。整体法兰视窗及环状密封槽,采用大型龙门加工中心一次加工成型,开双燕尾密封

    槽,密封支撑面及密封槽底面平面度<0.05毫米/米。

     

            法兰视窗与箱体采用冷却连续焊接方式,严格整体无损探伤检测焊缝,焊接处无泄漏。

     

            采用整体双环状“O”型密封圈嵌入整体环状槽的双槽真空隔离密封方式,里边密封圈无接缝,外边密封圈无接缝,双层密封间的真空有效地阻挡了空气中的H2OO2N2分子扩散入手套箱和有毒分子扩散出手套箱,达到无泄的效果,箱体泄漏率<0.0005vol%/h,达到无泄漏的效果。


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可选配置

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详细参数

箱体
描述操作尺寸:4500~5200mm ×700~850mm× 800~1000mm
不锈钢材质,厚度≥3mm,白色喷漆
体积4.4m³
过滤器采用符合HEPA标准的0.3μm孔径滤网的高效率过滤器
前窗透明钢化安全玻璃
手套口8英寸
硬铝合金材质,耐有机气氛腐蚀,口径 220mm
手套材料:丁基橡胶手套
厚度 0.4mm,耐腐蚀,抗老化,耐一定高温
照明LED 灯,安装在箱体外玻璃窗前上方
其他说明搁物架可拆卸,不锈钢材质,内置 2~3 层
过渡舱
大过渡舱材料不锈钢材质
尺寸两侧各一个,直径 350~400mm,长度 550~650mm
设备附件带导轨的不锈钢滑动托盘每侧1个,共2个
小过渡舱材料不锈钢材质,翻盖式锁紧,带压力表
尺寸两侧各一个,直径 120~180mm,长度 250~450mm
设备附件不锈钢滑动托盘每侧1个,共2个
随机配件
描述配压力表 2 个,用于惰性气体钢瓶和再生气钢瓶的压力控制
配气瓶架 5 个;钢结构支架,40L 钢瓶适用,底部安有万向脚轮
配圆凳子 4 个;可调节升降,上升后高度≥1000mm,带靠背
配水探头清洗剂 2 瓶,每瓶 10mL
配手套修补胶带 4 卷,用于丁基橡胶手套的破损修补
分析仪
氧气分析仪型号(国外进口)品牌:美国AVCRAY(依照客户使用环境决定)非国产或国内组装,第三方数据保证可信性
尺寸205 mm(L) x 80 mm(W) x 60 mm(H)
测量范围0-1000Ppm
其他氧分析仪GE oxy.IQ™ Oxygen Transmitter
水分分析仪型号(国外进口)品牌:英国MICHELL/(依照客户使用环境决定)非国产或国内组装,第三方数据保证可信性
尺寸205 mm(L) x 80 mm(W) x 60 mm(H)
测量范围0-1000ppm
其他水分析仪GE VeriDri™ Dew-Point Transmitter
其他要求
描述每节手套箱均有法兰接口≥4 个,供用电设备接线或内部设备与外部真空泵连接
分段运输,协助完成设备安装后箱体对接
真空搅拌机
描述设备尺寸长≤435mm,宽≤330mm,高≤625mm
搅拌机主机显示仪表:电子显示屏,可设置搅拌参数;配有真空表,可显示搅拌罐内的真空度
搅拌机构:转速Max.1000~1500rpm(屏显);搅拌转速、搅拌时间可调,可进行 3~4 段速操作,分别设定每段的转速和时间
抽真空机构:内置真空泵
搅拌罐搅拌罐规格:50mL×4 个,配备 4 根搅拌桨;200 或 250mL×1 个,配备 2 根搅拌桨
其他说明
产品认证ISO9001认证、CE认证、UL认证
质保期一年质保期,终身维修
应用注意事项详情参阅说明书危险、警告、注意等条款
包装尺寸(W×D×H)2500mm×1050mm×2100mm
重量500KG


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