QLED曝光机手套箱
专利模块 伊特克斯专利双O型密封圈法兰视窗特点及优势
(专利号码CN104260114B):
视窗法兰采用整体厚不锈钢板激光切割成整体强度高,耐冲击挤压变形的矩形环状。整体法兰视窗及环状密封槽,采用大型龙门加工中心一次加工成型,开双燕尾密封
槽,密封支撑面及密封槽底面平面度<0.05毫米/米。
法兰视窗与箱体采用冷却连续焊接方式,严格整体无损探伤检测焊缝,焊接处无泄漏。
采用整体双环状“O”型密封圈嵌入整体环状槽的双槽真空隔离密封方式,里边密封圈无接缝,外边密封圈无接缝,双层密封间的真空有效地阻挡了空气中的H2O、O2、N2分子扩散入手套箱和有毒分子扩散出手套箱,达到无泄的效果,箱体泄漏率<0.0005vol%/h,达到无泄漏的效果。
| 箱体 | ||
| 描述 | 箱体内部尺寸为1800mm×2740mm×1600mm,搬运时顶部FFU可拆 | |
| 体积 | 7.9m³ | |
| 前窗 | 可拆卸的8mm安全钢化玻璃前窗,耐磨、抗腐蚀、透光性好、密封圈采用3/8英寸厚的0MEGA密封圈 | |
| 手套口 | 8英寸 | |
| 直径220mm,硬铝合金材质,耐有机气氛腐蚀 | ||
| 手套 | 材料:丁基橡胶美国原装进口 | |
| 厚度:0.4mm | ||
| 照明 | 黄光、白光光源,可随时切换 | |
| 泄漏率 | <0.001Vo1%/h | |
| 其他说明 | 手套箱箱底使用不低于10mm的钢板,地脚及设备行驶轮可拆卸,拆除后可使手套箱地板直接平铺在高架地板上 | |
| 使用时可保持一定的正负压力(-12mbar—12mbar),超过一定压力,系统自动保护 | ||
| 箱体内置电源:预留好安装曝光机测试线的接口,配合曝光机厂家引线及气路等做对应接口及灌胶密封 | ||
| 箱体设置多个标准KF-40 接口,以便于接入液体、气体、信号等 | ||
| 含脚轮,高350mm,脚轮具有调平、移动、固定等功能 | ||
| 配置安全阀保护手套箱和手套箱内基板 | ||
| 正面操作工位处增加一套安全光栅及静电消除棒 | ||
| 按技术方案预留窗口及检修门 | ||
| 过渡舱 | ||
| 大过渡舱 | 材料 | 圆柱形(304不锈钢),大仓与手套箱之间采用法兰连接 |
| 尺寸 | T型大过渡舱:直径360mm,长 700mm,采用自动阀门控制抽气、补气过程;可设置抽补气循环次数自动进行抽补气操作,节省了操作等待时间 | |
| 真空度 | ≤-0.1MPa(均带抽真空带显示)压力表选用德国Wika | |
| 小过渡舱 | 材料 | SUS304不锈钢,厚度3mm |
| 尺寸 | 直径150mm×300mm,小过渡舱为手动阀门控制抽补气 | |
| 真空度 | ≤-0.1MPa(均带抽真空带显示)压力表选用德国Wika | |
| 其他说明 | 大过渡舱配备可自由移动延伸抛光托盘,托盘易拆卸,方便转移体积大的物料;小过度仓配备可移动滑盘 | |
| 溶剂过滤系统 | ||
| 描述 | 为防止有机溶剂对净化柱的影响或对实验产生交叉污染,有机溶剂吸附柱利用串联系统集成到手套箱外部, 可有效去除挥发出来的溶剂,媒介主要为优质高效活性碳,填装量为8KG | |
| 分析仪 | ||
| 氧气分析仪 | 型号 | (国外进口)品牌:美国Avcray(电化学)非国产或国内组装,第三方数据保证可信性 |
| 尺寸 | 205 mm(L) x 80 mm(W) x 60 mm(H) | |
| 测量范围 | 0-10、100、1000、10000 ppm (可根据实际值自动切换) | |
| 其他氧分析仪 | GE oxy.IQ™ Oxygen Transmitter | |
| 水分分析仪 | 型号 | (国外进口)品牌:英国MICHELL/(依照客户使用环境决定)非国产或国内组装,第三方数据保证可信性 |
| 尺寸 | 205 mm(L) x 80 mm(W) x 60 mm(H) | |
| 测量范围 | 0-10000pm | |
| 其他水分析仪 | GE VeriDri™ Dew-Point Transmitter | |
| 洁净高效净化循环系统(10级) | ||
| 描述 | 采用进口过滤器,通过高效洁净环境过滤净化系统将箱体中的受控环境达到10级洁净度(含静电离子棒); 将符合国家标准《洁净室施工及验收规范》 GB50591-2010;《 洁净室及相关受控环境》GB/T25915.3-2010 | |
| 其他说明 | ||
| 产品认证 | ISO9001认证、CE认证、UL认证 | |
| 质保期 | 一年质保期,终身维修 | |
| 应用注意事项 | 详情参阅说明书危险、警告、注意等条款 | |