QLED曝光机手套箱

  • QLED曝光机手套箱

    将超净空间、惰性气体保护与精密曝光机无缝集成的微纳加工与器件制备平台,用于在无水无氧、近乎无颗粒污染的环境中,完成QLED等光电器件从基底到完整器件的核心工艺。十级净化杜绝了颗粒污染导致的器件短路、针孔和缺陷;惰性气氛隔绝了QLED核心发光材料和敏感金属电极的氧化与潮解。将精密光刻工艺直接内置于上述双重保护环境中,实现了图形化工艺的全流程“无暴露”操作,解决了敏感材料与复杂工艺无法兼容的矛盾。七个手套口允许多名研究人员并行操作不同工序,或将大型基板在不同功能模块间流水线传递,极大提升了复杂工艺的研发效率和灵活性。

  • 应用领域

创新功能

专有技术

    专利模块   伊特克斯专利双O型密封圈法兰视窗特点及优势

    (专利号码CN104260114B):

            视窗法兰采用整体厚不锈钢板激光切割成整体强度高,耐冲击挤压变形的矩形环状。整体法兰视窗及环状密封槽,采用大型龙门加工中心一次加工成型,开双燕尾密封

    槽,密封支撑面及密封槽底面平面度<0.05毫米/米。

     

            法兰视窗与箱体采用冷却连续焊接方式,严格整体无损探伤检测焊缝,焊接处无泄漏。

     

            采用整体双环状“O”型密封圈嵌入整体环状槽的双槽真空隔离密封方式,里边密封圈无接缝,外边密封圈无接缝,双层密封间的真空有效地阻挡了空气中的H2OO2N2分子扩散入手套箱和有毒分子扩散出手套箱,达到无泄的效果,箱体泄漏率<0.0005vol%/h,达到无泄漏的效果。


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可选配置

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详细参数

箱体
描述箱体内部尺寸为1800mm×2740mm×1600mm,搬运时顶部FFU可拆
体积7.9m³
前窗可拆卸的8mm安全钢化玻璃前窗,耐磨、抗腐蚀、透光性好、密封圈采用3/8英寸厚的0MEGA密封圈
手套口8英寸
直径220mm,硬铝合金材质,耐有机气氛腐蚀
手套材料:丁基橡胶美国原装进口
厚度:0.4mm
照明黄光、白光光源,可随时切换
泄漏率<0.001Vo1%/h
其他说明手套箱箱底使用不低于10mm的钢板,地脚及设备行驶轮可拆卸,拆除后可使手套箱地板直接平铺在高架地板上
使用时可保持一定的正负压力(-12mbar—12mbar),超过一定压力,系统自动保护
箱体内置电源:预留好安装曝光机测试线的接口,配合曝光机厂家引线及气路等做对应接口及灌胶密封
箱体设置多个标准KF-40 接口,以便于接入液体、气体、信号等
含脚轮,高350mm,脚轮具有调平、移动、固定等功能
配置安全阀保护手套箱手套箱内基板
正面操作工位处增加一套安全光栅及静电消除棒
按技术方案预留窗口及检修门
过渡舱
大过渡舱材料圆柱形(304不锈钢),大仓与手套箱之间采用法兰连接
尺寸T型大过渡舱:直径360mm,长 700mm,采用自动阀门控制抽气、补气过程;可设置抽补气循环次数自动进行抽补气操作,节省了操作等待时间
真空度≤-0.1MPa(均带抽真空带显示)压力表选用德国Wika
小过渡舱材料SUS304不锈钢,厚度3mm
尺寸直径150mm×300mm,小过渡舱为手动阀门控制抽补气
真空度≤-0.1MPa(均带抽真空带显示)压力表选用德国Wika
其他说明大过渡舱配备可自由移动延伸抛光托盘,托盘易拆卸,方便转移体积大的物料;小过度仓配备可移动滑盘
溶剂过滤系统
描述为防止有机溶剂对净化柱的影响或对实验产生交叉污染,有机溶剂吸附柱利用串联系统集成到手套箱外部,
可有效去除挥发出来的溶剂,媒介主要为优质高效活性碳,填装量为8KG
分析仪
氧气分析仪型号(国外进口)品牌:美国Avcray(电化学)非国产或国内组装,第三方数据保证可信性
尺寸205 mm(L) x 80 mm(W) x 60 mm(H)
测量范围0-10、100、1000、10000 ppm (可根据实际值自动切换)
其他氧分析仪GE oxy.IQ™ Oxygen Transmitter
水分分析仪型号(国外进口)品牌:英国MICHELL/(依照客户使用环境决定)非国产或国内组装,第三方数据保证可信性
尺寸205 mm(L) x 80 mm(W) x 60 mm(H)
测量范围0-10000pm
其他水分析仪GE VeriDri™ Dew-Point Transmitter
洁净高效净化循环系统(10级)
描述采用进口过滤器,通过高效洁净环境过滤净化系统将箱体中的受控环境达到10级洁净度(含静电离子棒);
将符合国家标准《洁净室施工及验收规范》 GB50591-2010;《 洁净室及相关受控环境》GB/T25915.3-2010
其他说明
产品认证ISO9001认证、CE认证、UL认证
质保期一年质保期,终身维修
应用注意事项详情参阅说明书危险、警告、注意等条款


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