半导体焊接手套箱
专利模块 伊特克斯专利双O型密封圈法兰视窗特点及优势
(专利号码CN104260114B):
视窗法兰采用整体厚不锈钢板激光切割成整体强度高，耐冲击挤压变形的矩形环状。整体法兰视窗及环状密封槽，采用大型龙门加工中心一次加工成型，开双燕尾密封
槽，密封支撑面及密封槽底面平面度<0.05毫米/米。
法兰视窗与箱体采用冷却连续焊接方式，严格整体无损探伤检测焊缝，焊接处无泄漏。
采用整体双环状“O”型密封圈嵌入整体环状槽的双槽真空隔离密封方式，里边密封圈无接缝，外边密封圈无接缝，双层密封间的真空有效地阻挡了空气中的H2O、O2、N2分子扩散入手套箱和有毒分子扩散出手套箱,达到无泄的效果，箱体泄漏率<0.0005vol%/h，达到无泄漏的效果。
| 箱体 | ||
| 描述 | 尺寸：1280mm×900mm×930mm | |
| 材质：304不锈钢，厚度≥3mm | ||
| 体积 | 1.0m³ | |
| 底板 | 3.0mm保证在工作台安装位处的平整，在下底板下的支架相应位置有加强筋，以确保工作台稳定动作。 厚度15mm的不锈钢板(具体大小见手套箱三维图)焊接在底板上 | |
| 过滤器 | 采用符合HEPA标准的0.3μm孔径滤网的高效率过滤器 | |
| 前窗 | 可拆卸的10mm 安全无色防静电亚克力玻璃，无伤痕、抗腐蚀、密封性好，为了设备调试方便，螺丝易于拆卸，人性化倾斜角度 | |
| 后窗 | 可拆卸的4mm 厚不锈钢板(另配四周加强条)，密封性好，为了设备调试方便， 螺丝易于拆卸 | |
| 照明 | 箱体外配40W日光灯(加防反射膜)，可独立控制 | |
| 泄漏率 | 泄漏率≤0.05vol%/h | |
| 其他说明 | 底部预留10个气密性航插接口(非kf口航插)和2个KF25电极接口，另加一个304钣金防护罩(具体大小见手套箱三维图) | |
| 两侧边安装6个KF25 接口，配2套电磁阀(24V) | ||
| 循环系统进出气口尽量靠近箱体两边，配过滤器 | ||
| 左、右侧过渡舱用箱体封闭且可拆卸 | ||
| 外表喷塑，整体式设计。在箱体下面预留一些空间，提供一块长×高：800× 600(mm) 电路板， 板厚2mm镀锌板，安装空间300mm | ||
| 操作箱气路连通布局(除纯化部分、气动门) | ||
| 纯化系统放在手套箱下部。不需额外安装空间 | ||
| 箱体配备气动放气阀、单向阀 | ||
| 过渡舱 | ||
| 右过渡舱 | 材料 | 304不锈钢，厚度≥6mm |
| 尺寸 | 截面为方形，内腔体积305mm×305mm×400mm | |
| 真空度 | ≤5Pa(抽真空真空计显示)。抽真空时间<5min(从大气压抽到20Pa，4L 泵)，真空压升率<5Pa/h | |
| 其他说明 | 配备抽真空阀、补气阀、放气阀、手动放气阀，以及压力传感器(量程：-101~ 101kpa) 和真空计。 抽真空、补气时不能影响到裸露物料 | |
| 内门自动，外门手动。自动门安装三位五通阀，常触式保障操作人安全 | ||
| 开关门增加反馈。真空计不需要安装在面板上 | ||
| 左加热舱 | 材料 | 304不锈钢，厚度≥6mm |
| 尺寸 | 截面为方形，内腔体积305mm×305mm×400mm | |
| 真空度 | ≤5Pa抽真空真空计显示)，抽真空时间<5min (从大气压抽到<20Pa), 真空压升率<5Pa/h | |
| 加热方式 | 采用三块铝制加热板均匀加热，每块加热板配一个控温偶，一个测温偶(偶型均采用K 型偶) | |
| 其他说明 | 舱内加热区温度均匀性≤±5℃,当温度稳定后烘箱内加热区温度与设定温度相差；≤ ±5℃ | |
| 最高加热温度200±5℃，从常温到175℃的加热时间≤25分钟 | ||
| 温控仪显示精度：≤±1℃ | ||
| 加热舱的内外门均采用多层隔热 | ||
| 舱体温控：智能化数字式温控仪表，联动控制，实现自动均匀升温和保温等功能 | ||
| 舱体外部包玻璃纤维隔热棉，易触摸的部位不烫手，外壁温度≤50℃，并保证维修和更换方便 | ||
| 左加热舱配备抽真空阀、补气阀、放气阀、手动放气阀(24V), 以及压力传感器(量 程：-101～101kpa) 和真空计。抽真空、补气时不能影响到裸露物料 | ||
| 内门自动，外门手动。自动门安装三位五通阀，常触式保障操作人安全 | ||
| 开关门增加反馈。真空计不需要安装在面板上 | ||
| 清洗系统 | ||
| 描述 | 手套箱内的气氛置换通过系统自动控制的清洗阀来完成 | |
| 分析仪 | ||
| 氧气分析仪 | 型号 | (国外进口)品牌：美国AVCRAY(依照客户使用环境决定)非国产或国内组装，第三方数据保证可信性 |
| 尺寸 | 205 mm（L） x 80 mm（W） x 60 mm（H） | |
| 测量范围 | 0-1000Ppm | |
| 其他氧分析仪 | GE oxy.IQ™ Oxygen Transmitter | |
| 水分分析仪 | 型号 | (国外进口)品牌：英国MICHELL/(依照客户使用环境决定)非国产或国内组装，第三方数据保证可信性 |
| 尺寸 | 205 mm（L） x 80 mm（W） x 60 mm（H） | |
| 测量范围 | 0-1000ppm | |
| 其他水分析仪 | GE VeriDri™ Dew-Point Transmitter | |
| 手套箱联锁保护功能 | ||
| 描述 | 一旦湿度超过预设值时手套箱报警 | |
| 其他说明 | ||
| 产品认证 | ISO9001认证、CE认证、UL认证 | |
| 质保期 | 一年质保期，终身维修 | |
| 应用注意事项 | 详情参阅说明书危险、警告、注意等条款 | |
| 包装尺寸(W×D×H) | 2500mm×1050mm×2100mm | |
| 重量 | 500KG | |
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