100MW产线设备构成示意图（部分产业化过程表面清洗完玻璃激光定义下电极）

钙钛矿电池发展过程也是工艺、材料、设备不断匹配和优化、不断迭代的过程，目前工艺及设备尚未定型。

钙钛矿单结电池主要制备工序（以平面异质结NIP结构为例）及对应主要设备

钙钛矿电池钙钛矿层薄膜湿法主要工艺

钙钛矿成膜工艺将先有到优，从湿法工艺走向干法工艺。

1）钙钛矿湿法工艺中薄膜成长会经历前驱态（溶液态）——晶体成核与生长——晶体生长三个阶段。其中成核与生长一旦开始，其自然变化过程将非常迅速，很难控制薄膜表面的全覆盖及其均匀性、致密性。近年来，学界通过添加剂工程等手段调控钙钛矿的结晶动力学，改变其时间可操作窗口，并通过反溶剂、抽真空、吹风刀等后处理措施促进其快速成核以保证薄膜的连续形态，并通过低温长时间退火促进晶体的缓慢再生长。

2）干法工艺中，以双源气相沉积为例，是把两种及以上的固态前驱体粉末加热成气态，相遇发生化学反应形成一种新的材料沉积到基底表面，最终形成一层薄膜。此方法优势在于薄膜均匀且致密，但对其前驱体含量需要精确控制，同时设备成本较高。同时此法在叠层电池中，不必对作为底电池的晶硅电池进行抛光，可以形成陷光结构，提高效率。