集成电子束蒸发镀膜机手套箱系统
集成电子束蒸发镀膜机手套箱系统将电子束蒸发镀膜机（主真空室）与惰性气体保护手套箱进行高度集成，样品或基片经过手套箱进入镀膜机，完成镀膜后，再直接返回手套箱。整个过程中，样品始终不接触大气。完美应对钙钛矿、有机半导体、活性金属（锂、镁、铝）、硫化物等材料在电极制备时，一接触空气就氧化、水解或性能衰退的问题。它将高真空镀膜工艺与惰性气氛保护技术完美结合，解决了对空气敏感材料在制备、传输等流程中避免暴露的行业难题。
PA36e
PA36e热蒸发镀膜机腔室尺寸 360×500mm(H)
极限真空 ≤3×10-5Pa 保压12小时 压强≤5Pa
膜厚均匀性 ≥95% 重复性 ≥95%
基片尺寸 ≤100mm×100mm
有9个mask位置 每个基片对应3个位置
全自动控制软件
探索更多PA300e
PA300e热蒸发镀膜机腔室尺寸 ≤300mm(L)×300mm(W)×500mm(H)
极限真空 ≤3×10-5Pa 保压12小时 压强≤5Pa
膜厚均匀性 ≥95% 重复性 ≥95%
基片尺寸 ≤100mm×100mm
有9个mask位置 每个基片对应3个位置
全自动控制软件
探索更多PA400e
PA400e研发型镀膜机腔室尺寸 ≤400mm(L)×400mm(W)×600mm(H)
极限真空 ≤3×10-5Pa 保压12小时 压强≤5Pa
膜厚均匀性 ≥95% 重复性 ≥95%
基片尺寸 ≤135mm×135mm
有19个mask位置 每个基片对应3个位置
PA500e
PA500e研发型镀膜机腔室尺寸 ≤500mm(L)×500mm(W)×600mm(H)
极限真空 ≤3×10-5Pa 保压12小时 压强≤5Pa
膜厚均匀性 ≥95% 重复性 ≥95% 速率稳定性≥95%
基片尺寸 ≤156mm×156mm ≤30×30mm 数量4片
有12个mask位置 每个基片对应3个位置
探索更多PA600e
PA600e研发型镀膜机腔室尺寸 ≤600mm(L)×600mm(W)×660mm(H)
极限真空 ≤3×10-5Pa 保压12小时 压强≤5Pa
膜厚均匀性 ≥95% 重复性 ≥95% 速率稳定性≥95%
基片尺寸 ≤210mm×210mm
蒸发源 4-12任意组合蒸发源
全自动控制软件
PA700e
PA700e研发型镀膜机腔室尺寸 ≤700mm(L)×700mm(W)×800mm(H)
极限真空 ≤3×10-5Pa 保压12小时 压强≤5Pa
膜厚均匀性 ≥95% 重复性 ≥95% 速率稳定性≥95%
基片尺寸 ≤2300mm×300mm
蒸发源 4-12任意组合蒸发源
全自动控制软件
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