集成电子束蒸发镀膜机手套箱系统
专利模块 伊特克斯专利双O型密封圈法兰视窗特点及优势
(专利号码CN104260114B):
视窗法兰采用整体厚不锈钢板激光切割成整体强度高，耐冲击挤压变形的矩形环状。整体法兰视窗及环状密封槽，采用大型龙门加工中心一次加工成型，开双燕尾密封
槽，密封支撑面及密封槽底面平面度<0.05毫米/米。
法兰视窗与箱体采用冷却连续焊接方式，严格整体无损探伤检测焊缝，焊接处无泄漏。
采用整体双环状“O”型密封圈嵌入整体环状槽的双槽真空隔离密封方式，里边密封圈无接缝，外边密封圈无接缝，双层密封间的真空有效地阻挡了空气中的H2O、O2、N2分子扩散入手套箱和有毒分子扩散出手套箱,达到无泄的效果，箱体泄漏率<0.0005vol%/h，达到无泄漏的效果。
| 镀膜系统 | ||
| 真空腔室 | 内部尺寸：长400mm*高500mm | |
| 采用方形，优质304不锈钢前后开门真空室腔体1套，后门采用铰链式方门，方便清洗真空腔体 | ||
| 真空系统 | ||
| 描述 | 主泵采用分子泵，前级泵采用直联双级旋片泵 | |
| 真空极限 | ≤5×10Pa，大气至6×10^Pa时间小于30分，充干燥氮气 | |
| 腔体漏率 | 整体漏率优于5×10-Pa.m³/S，保压12小时，压强小于10Pa | |
| 基片台 | ||
| 描述 | 尺寸130mm*130mm方片，配一体式挡板，挡板要求能完全挡住和打开 | |
| 旋转 | 样品台需要设计旋转，转速：0-25转/分，且可以供客户自行调整，磁流体密封 | |
| 升降 | ||
| 掩膜 | 样品台掩膜结构根据客户要求定制设计 | |
| 镀膜源 | ||
| 描述 | 金属蒸发源 | 水冷铜电极至少4组，兼容蒸发舟(钨、钼，钽舟)和螺旋丝，可蒸镀金属和氧化物等， 采用气缸挡板，翻盖开关 |
| 有机蒸发源 | 采用铠装加热丝，安全洁净，最高加热温度：500℃，配4CC石英玻璃舟，采用气缸挡板，翻盖开关 | |
| 金属蒸发 电源 | 直流电源2台，可切换，数字显示，蒸发电源可以通过软件控制，也可以手动控制，此外，蒸发电源还可以通过膜厚仪PID(闭环控制)，自动调节蒸发速率 | |
| 有机蒸发 电源 | 采用直流电源1台，通过导电温控表进行PID精确温度控制，温控精度±1℃，温控表显示 精度0.1℃ | |
| 膜厚控制系统 | ||
| 描述 | 膜厚仪：采用石英晶振膜厚监控仪1台，模式：顺序镀膜，探头：两通道；显示以及控制精度：0.01A/秒，频率分辨率0.01Hz，带有PID环功能，可通过膜厚仪自动控制蒸镀速率；膜厚偏差± 5%; | |
| 膜厚探头：进口水冷膜厚探头2套，6MHz，采用快速卡扣式结构更换晶振片，避免用螺纹压紧式结构损坏晶振片，采用胶圈锁紧密封结构。 | ||
| 蒸镀操控系统 | ||
| 描述 | PLC+触摸屏手自一体操控系统，可远程操控 | |
| 手套箱 | ||
| 描述 | 设备与手套箱集成 | 厂商需要将镀膜设备与手套箱在硬件和软件上对接，保证真空镀膜设备和手套箱各自的密封，且能形成一套完整的系统 |
| PLC控制及触摸屏操作系统，集成的电磁阀模 | ||
| 在标准状况下，即20℃恒温，99.99%的惰性气源，水、氧指标小于1 ppm | ||
| 泄漏率 | 电磁阀门均采用集成阀座，减少泄露。箱体泄露率小于0.001vol%/h | |
| 箱体 | 1个304不锈钢的箱体，耐酸，厚度3mm，箱体尺寸：1500×750×900mm | |
| 大过渡舱 | 不锈钢制成的大真空过渡室，内径360mm，长度620mm，右侧，自动控制 | |
| 小过渡舱 | 不锈钢制成的小真空过渡室，内径150mm，长度310mm，右侧，手动控制 | |
| 前窗 | 1个带3个手套口的前窗，可拆卸的安全玻璃视窗，倾斜设计的操作面，钢化玻璃厚度8mm，视窗与箱体之间的密封使用双层实心真空密封技术，达到无泄漏 | |
| 水分析仪 | 采用Avcray技术，测量范围可设：0-1000ppm | |
| 氧分析仪 | 采用Avcray技术，配备一台氧分析仪，测量范围可设：0-1000ppm | |
| 其他说明 | ||
| 产品认证 | ISO9001认证、CE认证、UL认证 | |
| 质保期 | 一年质保期，终身维修 | |
| 应用注意事项 | 详情参阅说明书危险、警告、注意等条款 | |
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