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环境处理集群工具是一种定制的手套箱集群工具，它将各种真空以及基于液体的沉积技术集成到一个普通的惰性手套箱气氛中，用于各种功能材料。它包括十个手套箱模块，通过半自动惰性气氛传输系统互连，并包括诸如热蒸发..
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