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OTF-1200X-80-I-F3LV-----1200℃单温区三通道混气CVD系统
产品简介：
OTF-1200X-80-I-F3LV是一款通过CE认证的单温区管式炉CVD系统，其管径为80mm，采用机械泵，供气系统为三路浮子供气系统，其真空度可达到 10-2 torr。
| 技术参数 | ||
|---|---|---|
| 壳体结构 | 双层炉壳结构，风冷循环，降低外壳温度. 壳体表面温度＜ 55°C； 内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率，同时也可以延长仪器的使用寿命。 | |
| 电压 | 3KW | |
| 最高温度 | 1200°C | |
工作温度 | 1100°C | |
| 最大升温速率 | ||
炉管规格及材质 | 石英管: OD: 80mm x ID: 75 mm x Length: 1000 mm | |
| 加热区长度 | 400mm | |
| 恒温区长度 | 150 mm(+/-1 ℃) 注：由于测量手段及外部环境的影响，测量结果可能会有偏差，此参数仅供参考不作为该设备的技术指标。您购买产品需要准确的恒温区数据，请与我公司销售人员联系。 | |
| 控温系统 | PID30段程序化控温 | |
| 控温精确度 | +/ - 1°C | |
| 加热元件 | 掺钼铁铬铝合金电阻丝，表面涂有氧化锆涂层，可以最大程度的延长仪器的使用寿命 | |
| 真空密封系统 | 两个不锈钢密封法兰(上面已安装真空计和截止阀），最大漏气率6 mtorr/min | |
| 真空泵 | 采用双旋机械泵 | |
| 防腐型真空计 | 防腐型真空计可选：本公司进口的防腐型数字式真空显示计，其测量范围为3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换。 | |
| 混气系统 | 三个浮子流量计(准确率4%FS) 三路浮子量程分别为 10-100 cc/min. 16-160 cc/min. 25-250 cc/min 内部安装有一混气罐 | |
| 开门断电 | 为保证使用安全，该电炉为开门断电设计 | |
| 尺寸 | 炉体尺寸: 550 x 380 x 520 mm 混气系统尺寸: 600x600x597 mm | |
| 重量 | 约 60 Kg | |
| 质保期 | 整机保修一年,相关耗材除外.(如炉管、密封圈、加热丝.) | |
| 质量认证 | CE 认证 所有电器元件（>24V）都通过 UL / MET / CSA 认证 若客户出认证费用，本公司保证单台设备通过德国 TUV 认证或 CAS 认证 | |
| 注意事项 | ①炉管内气压不可高于 0.02MPa ②由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为 0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全 ③当炉体温度高于 1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态 ④进入炉管的气体流量需小于 200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击 ⑤石英管的长时间使用温度＜1100℃ ⑥对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于 0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉 管破裂，法兰飞出等） | |
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