Etelux伊特克斯Lab2000多工位镀膜机手套箱2000036

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伊特克斯电池智能装备

柱状及软包电池智能制造装备


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伊特克斯"365无忧";--超值延保服务 
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产品描述:

Lab2000 Auto系列是一种多功能镀膜设备(热蒸发/热阻蒸发和电子束蒸发可选),设计用于满足科研工作者和电子显微学家的需求。

可配备各种真空系统、真空腔室和标准化工艺附件,提供一系列实验技术以满足现代化实验室的需要。可选择配置钟罩式玻璃腔室、圆柱形玻璃腔室,也可以配置通用的前开门式不锈钢箱式腔室。腔室具有额外的高度与宽度,适用于安装较多的工艺附件。

客户可选择的模块化工艺附件,包括热阻蒸发源及其控制电源、电子束蒸发源、遮挡板、基片夹具以及膜厚监控仪等。

真空系统由触屏PLC控制和监控,易于操作;高真空泵选择包括扩散泵、涡轮分子泵、冷凝泵,并使用油封或干式泵作为支持泵。集成的具有备用电池的高真空阀门可在意外情况时保护泵和样品。

产品特点:

触屏PLC自动控制真空系统

多种可选薄膜沉积源和电源

多种可选样品夹具

多种可选真空腔室

智能高真空阀门保护泵及样品

紧凑型设计,最小化空间占用

无需压缩空气

完整的安全使用互锁保护

主要应用:

抗反射涂层

半导体

镜面

介质层

有机物/聚合物和OLED

光电子研究

复合物半导体

太阳能电池

纳米技术


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