在锂电池的制造过程中，真空技术在合浆、注液、烘烤等工艺流程中发挥重要作用，真空系统设计的好坏与锂电池的品质密切相关。真空泵是真空系统的主要设备，也是真空系统设计的主要内容,在选型时需要充分考虑使用需求,如真空度、抽速、所抽介质成分等，选择不好常常会引发电池质量问题，甚至是安全隐患。

比如说锂电池的负极材料、超级电容的电极、碳基粉体等。基于碳材料具有多孔吸附和超大的表面积等物理特性，很容易吸收水分和杂质。由于水变成蒸汽后体积将剧烈膨胀，甚至可以达到自身的1700倍之多，同时将发生电解，在一些恶劣条件下（过充电、高温、大压差），由于水的体积变大并且导电，使得电池内部的电阻变大，内阻上产生的大量热量导致电池内部温度过高，很容易将隔膜融化，电池内部将严重变形，而且通用的正极材料LIPF对水分和温度异常敏感，进而发生裂解，轻则导致电池报废，重则引发安全问题。

另外，在烘烤工序中，锂电池极片中的水分对电池性能同样也有很大影响，过量水分将会影响其电化学性能。因此需要设置烘箱间，将极片或电芯放置在烘箱的可移动真空腔体中，通过烘烤与抽真空相结合的方式除去水分。与常压干燥相比，这种方式的优点是真空干燥能够避免在常压干燥时容易出现的产品表面硬化现象，这是由于真空环境时极片表面与内部的压差大，压力梯度使水分更快速地移出表面，干燥效率高，干燥温度低，利于电池内部集流体与活性物质的粘结。

其他锂电池制造真空应用工艺：

1、在锂离子动力电池生产车间，合浆需要抽真空，消除罐体空气，避免气泡产生，影响涂布效果；

2、激光焊接完后，为了检测电池的气密性，需要抽真空，通过保压后检测气压压降，来判断是否漏气；

3、高温隧道炉，为了置换电池内部的空气，使电池烘烤效果更好，隧道炉内会进行抽真空，能更好地烘干极片中的水分；

4、注液时（即抽真空注液），使用真空泵能较好地确保注液质量；

5、负压化成时，锂电池在化成过程中会产生大量气体，需要对电池进行抽真空，减少析锂的可能性；

6、极片的冲切、卷绕、叠片，电池的入壳等流程，需要使用真空设备完成自动化的搬运和吸附工作。

可以说真空设备在锂电池前端研发到中试以及规模化生产的整个周期中均有重要应用。目前，锂电池规模化制造过程中的合浆、卷绕、叠片、装配、烘箱、注液、化成等主要工序都对真空系统提出了更高的要求。