ATTO10一体镀膜机

Atto10手套箱是经过验证的一种手套箱蒸镀一体机,坚固耐用的多功能设计标准方案。该系统可以手动和自动操作,具有广泛的沉积仪器选配,包括:电子束蒸发器,射频和直流溅射源,低温有机蒸发器和金属蒸发器。还有许多系统选项可用,如 石英晶体监测,高真空负载锁和加热,冷却,旋转或静态样品台。本系统由真空镀膜系统和Lab2000手套箱系统集成而成,手套箱是一种与大气隔绝的密闭环境的箱体,各种装配操作等工作能够通过手套在箱体里面进行,手套箱内部无水、无氧,只充满了高纯惰性气体,实现镀膜机和手套箱的无缝连接,解决镀膜产品被水氧分子污染的问题。



   
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ATTO10一体镀膜机

产品特点

既保证了高真空蒸镀腔室中完成薄膜蒸镀,又在手套箱高纯惰性气体氛围下进行样品的存放、制备以及蒸镀后样品的检测。

该系统具有高真空压力和抽空时间测试。

具有先进编程能力的行业最佳软件控制系统,系统的灵活性,

可以被配置为溅射系统,电子束系统,OLED系统,热蒸发系统或这些过程的任何组合。

可以集成各种光学和光谱技术,并将系统集成到需要惰性气氛的研究手套箱中。

产品应用

半导体工业中MOCVD技术、微电子半导体、OLED/PLED开发与生产、锂离子电池开发与生产、纳米材料研究、催化剂研究、钙钛矿太阳能电池的研发。



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