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手套箱,真空手套箱
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        真空手套箱真空蒸发手套箱(简称为蒸镀)是PVD专业技能中发展早、技术应用比较广泛的手套箱技术。虽然后来发展上来的溅射镀和离子镀在很多方面要比蒸镀有优势,但真空蒸腾专业技能仍有很多优点,如专用设备与加工工艺相对性的比较简单,既能镀制非常纯洁的膜层,又可制备具有着特殊结构和性质的膜层等,依然是现如今非常重要的手套箱专业技能。近几年来,因为电子炮击蒸腾,高频感应蒸腾及激光蒸腾等专业技能在蒸腾手套箱专业技能中的广泛应用,使这一专业技能日趋完善。
   将膜材放置于真空手套箱室内,利用蒸发源加热使其蒸发,当蒸发分子的平均自由程大于真空手套箱室的线性尺度时,蒸汽的原子和分子从蒸发源表面逸出后,很少遭到其他分子或原子的冲击阻拦,可直接抵达被镀的基片表面,由于基片温度较低,便凝聚其上而成膜,为了提高蒸发分子与基片的附着力,对基片进行适当的加热是必需的。为使蒸发手套箱顺利进行,应具备蒸发过程中的真空条件和制膜过程中的蒸发条件。   
   蒸发过程中的真空条件:真空手套箱室内蒸汽分子的平均自由程大于蒸发源与基片的间隔(称之为蒸距)时,就会获得充分的真空条件。因此,增加剩余气体的平均自由程,进而削减蒸汽分子与剩余气体分子的碰撞概率,把真空手套箱室抽成高真空是十分必要的。
   真空手套箱过程中对真空度的要求并非是越高越好,因为在真空手套箱室内真空度逾越10-6Pa时,有必要对真空体系烘烤去气才能达到。因为烘烤去气会形成基片的污染,因而在不通过烘烤去气时即可得到10-5Pa的高真空下制膜,其膜的质量不一定比超高真空下所制备的膜的质量差,这一点是值得注意的。因而,在真空蒸腾手套箱设备中,手套箱室所选用的真空度一般均应高于10-2Pa,低于10-5Pa。