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伊特克斯

手套箱,真空手套箱
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伊特克斯克服镀膜机现有技术中真空蒸镀系统样品台只能完成有机源和金属源的蒸发成膜,而且只能一次性制作样品少,生产效率低的缺陷,提供一种真空蒸镀一体机。本系统由真空镀膜系统和手套箱系统集成而成,可在高真空蒸镀腔室中完成薄膜蒸镀,并在手套箱高纯惰性气体氛围下进行样品的存放、制备以及蒸镀后样品的检测。蒸发镀膜与手套箱组合,实现蒸镀、封装、测试等工艺全封闭制作,使整个薄膜生长和器件制备过程高度集成在一个完整的可控环境氛围的系统中,消除有机大面积电路制备过程中大气环境中不稳定因素影响,保障了高性能、大面积有机光电器件和电路的制备。主要用于太阳能电池钙钛矿、OLEDPLED、半导体制备等实验研究与应用。