GSL-1800X-ZF4 蒸发镀膜仪

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                                                                   GSL-1800X-ZF4 蒸发镀膜仪

GSL-1800X-ZF4蒸发镀膜仪是一款高真空的蒸发镀膜仪,特别适合蒸镀对氧较敏感的金属膜(如Ti、Al、Au等),也可蒸镀各种氧化物材料。本机设有4个蒸镀加热舟,且每个蒸镀舟都带有挡板。若更改部分配置也可实现对有机材料的蒸发镀膜,可满足发光器件及有机太阳能电池方面的研究要求,是一款镀膜效果理想且性价较高的实验设备。

功能特点
  • 真空控制单元全部集合在一个控制盒内。
  • 采用独立的蒸镀电流控制器,操作方便快捷。
  • 真空腔体设有1个KF40旁抽阀(直接与前级机械泵相连,方便快速取放样品,提高效率)、1个CF150闸板, 阀(直接与分子泵相连)、1个KF16法兰(安装电阻规)、5个CF35法兰(1个安装电离规,4个备用,便于,安装其他设备)。
  • 在腔体底部配有5个水冷电极,可支持4个蒸镀加热舟。
  • 1
  • 4个蒸镀加热舟上方配有独立的可移动挡板,有效地避免蒸发时相互污染。
  • 样品台安装在腔体的顶部。
  • 腔内可装高分辨率的薄膜测厚仪,精度为10Å。
  • 可使用循环水冷机。
技术参数
安装条件本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。
设备配有自循环冷却水机(加注纯净水或者去离子水)
AC220V 50Hz,必须有良好接地
设备腔室内需充注氩气(纯度99.99%以上),需自备氩气气瓶(自带Ø6mm双卡套接头)及减压阀。
工作台落地式,占地面积2m2以上
通风装置需要
输入单相AC220V,50Hz/60Hz,功率<2.16KW(不含真空泵)
蒸发输出电压AC0-8V连续可调,最大蒸发电流200A,最大蒸发功率<1.6KW
真空腔

Ø300mm(内径)×400mm,不锈钢,内壁经电抛光处理

1 1 1

腔门Ø200mm
观察窗Ø95mm,采用专用密封圈密封
真空泵高抽速涡轮分子泵,抽速600L/s
真空度5.0×10-6torr(泵开启40min后)
极限真空度5.0×10-7torr(加热温度为100℃-150℃)
漏率5.0×10-7Pa/s
样品台

Ø140mm

1

蒸发舟与样品台间距260mm
冷却水需量15L/min
尺寸650mm×1200mm×1600mm
重量600kg

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