手套箱
薄膜制造
真空镀膜
锂电池
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a) 操作启动泵，使其运转大约十分钟让油变热，然后关掉泵（如此可降低真空泵油的黏度，使其更容易从泵中排出）；
b) 关闭手套箱；
c) 切断真空泵电源，并将泵与手套箱真空系统脱离；
d) 拆下其中一个加油嘴拴盖；
e) 在泵马达下方垫上一方块物品使泵可以倾向一边（严禁倒置），同时在排放拴盖下方放置放一合适容器（不小于1L的容器），打开排油栓塞，让油排放到容器内；
f) 装回排油拴盖，取走垫块；
g) 将新的泵油从加油孔注入，添加到油位观察窗的三分之二位置为止；
h) 换油完毕，擦拭干净油渍，重新将泵接到手套箱上。
i) 若是从泵中排出的油受到污染，请将干净的油，请重复以上a—h步骤。直到泵里油干净为止；
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