EVap600D

1.蒸发镀膜与手套箱环境有机融合,实现蒸镀、封装、测试等工艺无缝对接。2.多组蒸发源,兼容有机与金属蒸镀,广泛用于OLED/PLED等研究系统。

1.蒸发镀膜与手套箱环境有机融合,实现蒸镀、封装、测试等工艺无缝对接。2.多组蒸发源,兼容有机与金属蒸镀,广泛用于OLED/PLED等研究系统。

 

一、设备组成:
  1、单镀膜室
  2、单镀膜室+进样室
  3、单镀膜室+手套箱(可将镀膜室放在手套箱内)
  4、单镀膜室+进样室+手套箱(可将镀膜室放在手套箱内)
  5、多镀膜室+样品传递室+手套箱(组成团簇式结构,样品传递采用真空机械手)
二、镀膜室内部组成:
  钽金属舟热蒸发源组件、石英舟热蒸发源组件、钨极热蒸发源组件、束源炉热蒸发组件、样品掩膜挡板系统、真空获得系统及真空测量系统、分子泵真空机组、旋转基片加热台、工作气路、手套箱连接部件、样品传递机构,膜厚控制系统、电控系统、恒温冷却水系统等组成。
  热蒸发源类型和数量,可根据用户需要进行配置。
  可选件:膜厚监控仪,恒温制冷水箱。
三、操作方式:手动、半自动、全自动。
四、真空性能:
  
1、极限真空:7×10-5Pa~7×10-6Pa
  2、设备总体漏放率:关机12小时,≤10Pa

 

  在高真空条件下,用电阻热蒸发的方法,在衬底上沉积各种金属、有机材料、化合物、混合物单层膜、多层膜或掺杂膜。
  可用于各种材料的物理和化学研究。
  可用于制备金属导电电极。
  可用于有机材料的物理化学性能研究实验、有机半导体器件的原理研究实验、OLED实验研究及有机太阳能薄膜电池研究实验等。

1.蒸发镀膜与手套箱环境有机融合,实现蒸镀、封装、测试等工艺无缝对接。2.多组蒸发源,兼容有机与金属蒸镀,广泛用于OLED/PLED等研究系统。

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