EVap300D

1.蒸发镀膜与手套箱环境有机融合,实现蒸镀、封装、测试等工艺无缝对接。2.多组蒸发源,兼容有机与金属蒸镀,广泛用于OLED/PLED等研究系统。

 

 

型号

ZHDS-400

ZHDS-450

真空腔室

L400×W400×H500,前后开门结构,SUS304不锈钢材质,

L450×W400×H500,前后开门结构,SUS304不锈钢材质,

真空系统

复合分子泵+直联旋片泵,超高真空插板阀,“两低一高”数显复合真空计

极限真空

优于6.0×10-5Pa(如需获得更高的真空度可选择进口真空泵组)

基片台

≤120mm;基片台加热:室温~300℃;基片台旋转及光控定位

蒸发源

4组蒸发源(舟式源或挂丝源,兼容有机材料蒸发)

6组蒸发源(4组盒式源,用于有机材料蒸发;2组舟式源,用于金属材料蒸发)

膜厚控制

掩膜及膜厚控制系统:定制掩膜机构;采用晶振膜厚仪在线监测、控制膜厚

手套箱系统

手套箱箱体尺寸:大箱体L1800×W750×H900mm
箱体泄露率<0.05vol%/h,标准环境箱体内水、氧指标<1ppm

控制方式

镀膜系统采用手动按钮控制,手套箱系统采用PLC+触摸屏控制

报警及保护系统

对泵、电极等缺水,过流过压,断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施;完善的逻辑程序互锁保护系统

 

OLED有机材料镀膜设备详细信息

OLED有机材料镀膜设备行业应用

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